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技術(shù)中心
集成電路關(guān)鍵材料

    集成電路材料產(chǎn)業(yè)位于集成電路產(chǎn)業(yè)鏈上游,是整個行業(yè)的根基,材料的品質(zhì)直接影響集成電路產(chǎn)品性能。硅晶圓、光掩膜、光刻膠及附屬產(chǎn)品、濺射靶材等集成電路關(guān)鍵材料的穩(wěn)定供應(yīng)與集成電路制造企業(yè)生產(chǎn)進度高度相關(guān),對集成電路市場及整個產(chǎn)業(yè)的發(fā)展具有決定性影響。目前,我國集成電路關(guān)鍵材料供應(yīng)三分之二以上依賴從境外進口,極易受到產(chǎn)業(yè)生態(tài)改變、國際政治經(jīng)濟環(huán)境惡化、自然災(zāi)害突發(fā)、流行疾病擴散等風(fēng)險因素影響。

    2018~2019年,全球集成電路材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展態(tài)勢平穩(wěn),市場規(guī)模維持在520億美元以上。其中,中國臺灣集成電路材料市場規(guī)模連續(xù)十年位居全球第一。中國大陸

集成電路市場規(guī)模小幅增長,2019年達到86.9億美元,始終保持在全球前三位。另外,全球硅晶圓、光掩膜、光刻膠及附屬產(chǎn)品、濺射靶材等關(guān)鍵材料銷售總額占比超六成。日本在集成電路關(guān)鍵材料領(lǐng)域優(yōu)勢明顯,關(guān)鍵材料全球市占率均超五成。

    近年來,全球市場平穩(wěn)發(fā)展,中國臺灣仍居第一。關(guān)鍵制造材料銷售總額占比超六成。集體電路材料是集成電路產(chǎn)業(yè)鏈中細分領(lǐng)域最多的環(huán)節(jié),貫穿集成電路晶圓制造、前道工藝(芯片制造)、后道工藝(封裝)整個過程,另外,涉及的應(yīng)用包括硅晶圓、光掩膜、光刻膠及附屬產(chǎn)品、濺射靶材、化學(xué)機械研磨(CMP)材料、電子特種氣體、濕法化學(xué)品、封裝基板、引線框架、液體密封劑、鍵合絲、錫球、電鍍液等,其中,硅晶圓、光掩膜、光刻膠及附屬產(chǎn)品、濺射靶材是集成電路制造產(chǎn)業(yè)需求量最大、使用量最多的核心關(guān)鍵材料。據(jù)國際半導(dǎo)體設(shè)備與材料產(chǎn)業(yè)協(xié)會(SEMI)最新報告數(shù)據(jù)顯示,2019年,全球集成電路制造材料的銷售總額為328億美元;硅晶圓、光掩膜、光刻膠及附屬產(chǎn)品、濺射靶材四大集成電路制造關(guān)鍵材料的銷售額分別為111.5億美元、38.7億美元、33.7億美元和28.7億美元,各占全球集成電路材料銷售總額的34%、11.8%、10.3%和8.8%,合計占比超過全球集成電路材料銷售總額的六成;其次,CMP研磨液和電子特種氣體銷售額分別為7.9億美元和5.5億美元。

    ①硅晶圓。其是最重要的集成電路材料,分為拋光片、外延片、退火片、節(jié)隔離片和絕緣體上硅片多種類型,其中拋光片是需求量最大的產(chǎn)品,其他硅晶圓產(chǎn)品也都是在拋光片基礎(chǔ)上二次加工而成的。目前,硅晶圓直徑尺寸主要有3英寸、4英寸、6英寸、8英寸、12英寸(300毫米)、18英寸(450毫米)幾種規(guī)格。硅晶圓越大,可制作的集成電路芯片數(shù)量就越多,每個芯片的制造成本就越低。因此,大尺寸晶圓是硅晶圓產(chǎn)業(yè)的發(fā)展方向。但硅片尺寸越大,對工藝設(shè)備、材料和技術(shù)的要求也越高,制備難度越大。因此,硅晶圓具有極高的技術(shù)壁壘,全球只有10家企業(yè)有能力制造,其中排名前五企業(yè)的全球市場份額約為90%。

    ②光掩膜(Photomask),又稱光罩。其是由鉻金屬薄膜石英玻璃片制成,是集成電路制造的“底片“。是承載集成電路設(shè)計圖案和知識產(chǎn)權(quán)信息的載體。目前全球光掩膜的廠商主要集中在海外。

    ③光刻膠。其是由感光樹脂、增感劑、溶劑三種主要成份組成。在集成電路光刻工藝中,光刻膠被均勻涂布在襯底上,經(jīng)曝光、顯影和刻蝕等步驟,將光掩膜上的集成電路圖案轉(zhuǎn)移到襯底上。目前,全球光刻膠市場行業(yè)集中度很高,呈現(xiàn)寡頭壟斷局面。

    ④濺射靶材。其是集成電路濺射工藝中所使用的原材料,按成分可分為純金屬靶材(純金屬銅、鋁、鈦、鉭等)、合金靶材(鎳鈷合金、鎳鉻合金等)和陶瓷化合物靶材(硅化物、碳化物、氧化物、硫化物等)。濺射技術(shù)于19世紀40年代起源于西方,因此國外在濺射靶材制備生產(chǎn)方面擁有一個多世紀的積淀。

解決方案